表面微粒子計數器(SURFACE PARTICLE COUNTER, SPC)

根據ISO14644-1對無塵室等級的規範-它針對0.1um~5um大小的顆粒做監控，也因此客戶以為在高等級的無塵室中既然量不到，則誤認為大於5um的污染粒子應該也很少吧!!
真實的狀況是，在高等級無塵室中，即使空氣中極為乾淨，大型粒子依然大量存在各個表面。
大型粒子無法經由換氣或濾網除去，只會因重力自然落下容易沈積的。

大型粒子-只能透過有效的清掃來排除。定義關鍵粒子大小與濃度開始

ISO14644-1:規範專注於小顆粒
ISO14644-9:規範專注於表面大顆粒
粒子不分大小一律完全排除,這樣的代價極高,也不必要,
建議先定義有風險的「粒子尺寸」與「容許濃度」

表面微粒子計數器 SPC (Surface Particle Counter)的第一步就是定義出專屬於你的合理規格

大型顆粒飛行軌跡通常在污染產生源附近

換氣率提高, 並無法改善大型顆粒數量

產品污染的源頭, 就是附著於表面大於2 um的大型顆粒, 讓PartSens為您把關

數秒內所有表面的粒子直徑數量，統計成報表

可區別粒子種類 : 金屬、非金屬、纖維，以不同顏色表示。

専用取樣墊片，直接取樣、直接分析.

符合ISO14644-1:無塵室潔淨度等級分類標準(0.1um-5 um)

ISO14644-9:表面潔淨度SPC分級標準(0.05um-500 um)

ISO14644-13:表面清潔以達到顆粒和化學等分類潔淨度標準

VDA19.2:汽車零件清潔度測試方法

APMON 即時落塵沉積監測儀 : 「監控粒子的動態變化」詳記錄粒子與大小，把製造環境中的粒子堆積風險，用數據化來管理

1、即時監測表面顆粒沉積率(Particle Deposition Rate, PDR)

2、建立顆粒沉積率管制標準(Particle Deposition Rate Limit, PDRL)作為表面潔淨度

3、即時監控紀錄粒子落下發生的高峰時間,進一步比對發生當下的人、事、物行為,找出引發落塵的「程序」「行為」。

4、ISO等國際標準,已經要求用PDR(數據化)作為落下粒子的有效管控標準。

5、在生產區域佈建APMON,可監控15um大小上的粒子堆積(最短採樣區間:五分鐘)，具軟體可顯示沉積趨勢及顆粒大小變化

6、可透過藍芽、或有線網路做遠端監控

7、ISO14644-17 : 2021-顆粒沉積率的應用:計算特定表面所需的顆粒遮蔽率並降低沉積顆粒的風險。

計算特定表面所需的顆粒遮蔽率並降低沉積顆粒的風險。

日本ＩＮＴＥＣＨＮＯ公司領先技術, 針對不同原理之表面微粒子計數器（Surface Particle Counter, SPC)， 所依據的14644之規範不同